EXCELITAS 埃塞力达 半导体设备 集成OEM光学系统

EXCELITAS 埃塞力达  半导体设备  集成OEM光学系统

定制光子解决方案

从机密光学解决方案的设计和原型制作到量产，埃赛力达的光学专业知识和创新重新定义了应用于光刻对准、晶圆检测、计量、芯片处理、键合和包装的光子性能的范围。我们的深紫外到红外光学解决方案有助于不断缩小集成电路制造关键流程中的必要特征尺寸。

从微观到宏观的检查透镜

埃赛力达提供用于芯片加工和晶圆检测的高端光学部件、组件和子系统。结合我们广泛的照明和激光技术，埃赛力达是您在半导体应用领域端对端光子解决方案的理想合作伙伴。

• 精密的平面、非球面、自由曲面、金刚石车削和金属光学器件
• 高分辨率表面检测
• 均匀宽带和窄带照明
• 光纤耦合固态激光器
• 定制激光束整形光学器件
• 真空兼容光纤光学器件
• 晶圆对准参考

绝对的可靠性

我们擅长于计算机化对准、对中和固定技术。质量检验由现代化的计量设备完成，包括Shack-Hartmann传感设备、非球面相移干涉计量、从UV到IR的干涉计量，以及MTF检测和宽带分光光度测定法。我们经过现场验证的质量来自于配备了最现代化机械的先进设施、1000绝对无尘室级别的组装设施，以及对ISO 9001、14001和13485认证的严格维护。