HAMAMATSU 滨松 C10506-05-16 iPHEMOS-DD 倒置光发射显微镜
从背面检测信号便于在晶圆表面使用探测卡和探针卡，样品设置可以顺利进行。该平台可以安装多个探测器和激光器，能够选择最佳探测器，以执行各种分析方法，例如光发射和热生成分析、IR-OBIRCH 分析等；此外，通过测试仪连接，使动态分析能够高效执行。
●iPHEMOS-DD
通过直接连接到 LSI 测试仪，可以减少由于连接电缆长度造成的信号延迟，并且可以对高速驱动样本进行分析。直接对接专用探针器可将多针指针连接到 300 mm 晶圆上，并且通过附加选件，可通过操作器执行封装分析和针指针连接。
LSI 测试仪连接示例
特点
- 可安装两个超高灵敏度相机，用于微光分析和热分析
- 可安装多达 3 种波长的激光器和 EOP 探针光源
- 能够安装多个探测器的多平台
- 高灵敏度微距镜头和多达 10 个镜头，适用于每个探测器灵敏度波长
选项
- 包括激光扫描系统
- 使用高灵敏度近红外相机进行微光发射分析
- 使用高灵敏度中红外相机进行热分析
- IR-OBIRCH 分析
- 通过激光辐照进行动态分析
- EO 探测分析
- 使用 NanoLens 进行高分辨率和高灵敏度分析
- 连接到 CAD 导航
- 连接到 LSI 测试仪
显示功能
叠加显示/对比度增强功能
iPHEMOS-DD 将微光图像叠加在高分辨率图案图像上，以快速定位缺陷点。对比度增强功能使图像更清晰、更细腻。
显示功能
- 注释：评论、箭头和其他指示符可以显示在图像上所需的任何位置。
- 刻度显示：刻度宽度可以使用分段显示在图像上。
- 网格显示：垂直和水平网格线可以显示在图像上。
- 缩略图显示：图像可以存储和调用为缩略图，并且可以显示图像信息，例如载物台坐标。
- 分屏显示：图案图像、微光图像、叠加图像和参考图像可以一次显示在 4 窗口屏幕中。
详细参数
| 线路电压 | 交流 200 V (50 Hz/60 Hz) |
|---|---|
| 功耗 | 约 1400 VA（最大 3300 VA） |
| 真空度 | 约 80 kPa 或以上 |
| 压缩空气 | 0.5 MPa ～ 0.7 MPa |
| 尺寸/重量 | 主机：1980 mm (W)×1270 mm (D)×834 mm (H)，约 1700 kg 控制架：880 mm (W)×700 mm (D)×1842 mm (H)，约 300 kg 可选桌台：1400 mm (W)×800 mm (D)×700 mm (H)，约 60 kg |
*iPHEMOS-DD 主机的重量包括探针或同等物品。
0755-83317701 0755-84670052 手机/微信：13246646513 13682357549 QQ：564600083 672776553 Email：564600083@qq.com 672776553@qq.com
常见问题
产品出现质量问题怎么办？
您好，我们的产品都有质量保证的，一般都不会出现质量问题。如果收到货后，一个月内出现质量问题，且非人为损坏的，我们这边是可以包换的。
在线客服