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HAMAMATSU 滨松 C13027-12 Optical NanoGauge 膜厚测量系统
C13027 不仅支持 PLC 连接，而且比其他型号更紧凑，易于安装到设备中。我们的 Optical Gauge 系列能够测量低至 10 nm 的极薄薄膜的厚度，并覆盖从 10 nm 到 100 μm 的宽范围薄膜厚度。Optical Gauge 系列还可快速测量高达 200 Hz 的功率，因此是高速生产线测量的理想选择。
特点
- 支持 PLC 连接
- 缩短周期时间（最高 200 Hz）
- 能够测量 10 nm 薄膜
- 同时测量厚度和颜色
- 缩小尺寸（与 C12562 相比，其安装面积减少 30%）
- 涵盖宽波长范围（400 nm 至 1100 nm）
- 软件中添加了简化的测量
- 能够同时进行表面分析
- 精确测量起伏不定的薄膜
- 分析光学常数（n、k）
- 映射功能
详细参数
| 型号 | C13027-12 |
|---|---|
| 可测量的薄膜厚度范围（玻璃） | 10 nm 至 100 μm*1 |
| 测量重现性（玻璃） | 0.02 nm*2 *3 |
| 测量精度（玻璃） | ±0.4%*3 *4 |
| 光源 | 卤素光源 |
| 测量波长 | 400 nm 至 1100 nm |
| 光斑尺寸 | 约 Φ1 mm*3 |
| 工作距离 | 10 mm*3 |
| 可测量层数 | 最多 10 层 |
| 分析 | FFT 分析、拟合分析、光学常数分析、颜色分析 |
| 测量时间 | 3 ms/point*5 |
| 光纤连接器形状 | FC |
| 外部控制功能 | RS-232C，以太网 |
| 电源 | AC100 V 至 AC240 V，50 Hz/60 Hz |
| 功耗 | 约 80 VA |
●输出信号
模拟输出：0 V 至 10 V/高阻抗 3 通道（最多 3 层）
警报输出：TTL/高阻抗单通道
警告输出：TTL/高阻抗单通道
●输入信号
测量开始信号：TTL/高阻抗单通道
*1 当以玻璃折射率 1.5 进行转换时。
*2 测量 400 nm 厚玻璃膜时的标准偏差（公差）。
*3 取决于使用的光学系统或物镜放大率。
*4 VLSI 标准测量保证文件中记录的测量保证范围。
*5 最短曝光时间。
尺寸
0755-83317701 0755-84670052 手机/微信：13246646513 13682357549 QQ：564600083 672776553 Email：564600083@qq.com 672776553@qq.com
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