HAMAMATSU 滨松 S13989-01H MEMS 振镜
特点
- 低电流操作
- 超小型尺寸
- 宽光偏转角
类型 | 双轴光栅扫描 |
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操作模式 | 快轴:非线性模式(谐振模式) 慢轴:线性模式 |
振镜尺寸 | φ1.23 mm |
振镜材料 | 铝 |
光偏转角 | 快轴:±20° 慢轴:±12 ° |
驱动频率(最大) | 快轴:29.3 kHz(典型值) 慢轴:100 Hz |
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